World of Photonics Congressでの論文

Sensofar R&Dは、そのノウハウ、テクノロジー、システム性能を常に成長させています。 こうした開発は、科学計測学コミュニティ内やその目的のためにSensofarが実施する継続的な活動によって実証されています。

ドイツのミュンヘンで間もなく開催されるWorld of Photonics Congressにおいて、この実績を明確に示す2つの論文が発表されます。

6月28日水曜日、午前9:00、14C号室、論文10329-40 

セッション9: 産業検査用光学測定システム X – 高分解能プロファイリング I

「円筒面の共焦点展開エリア測定」

発表者:Aitor Matilla、理学修士（R&D）

要約。 共焦点顕微鏡は、その良好な高さ分解能と高い局部傾斜の測定能力により、面の測定に幅広く使用されています。大きなエリアの測定の場合、システムノイズを数nmに維持しながらも、高い開口数の対物レンズを使用し、XY平面でサンプルを移動させ、必要な面をカバーするために複数のフィールドをスティッチで合わせる必要があります。コヒーレンス走査干渉法（CSI）や焦点移動法（FV）などのその他のテクノロジーも技術的表面の測定に幅広く使用されます。各テクノロジーは、長所と短所があります。たとえば、干渉法は対物レンズの開口数に関係なく最高の垂直分解能を提供しますが、欠点として振動に非常に弱く、面の正確な情報を得るには大量の画像取得が必要です。焦点移動法は、粗い表面の測定において優れたロバスト性が得られるメリットがありますが、高い垂直分解能を達成するには開口数を高くする必要があります。低倍率の対物レンズであれば、焦点移動法は、表面のテクスチャ測定よりも、表面の形状やうねり成分の測定により適しています。この論文では、円筒表面の測定を提案しており、原理的には、上記テクノロジーのいずれでも測定が可能です。弊社の研究では、この新しい取得手法を実施するための第一ステップとして共焦点を選択していますが、これが将来の開発においてCSIやFVの使用を制限するものではありません。

6月29日木曜日、午後2:50、12A号室、論文10334-11

セッション4:自動目視検査およびマシンビジョン – 検査、モニタリング、検出

「高い開口数の光学システムによる自動ステント欠陥検出と分類」

発表者:Carlos Bermudez、博士（R&D）

要約。 ステント品質管理は、極めてクリティカルなプロセスです。心臓血管ステントは、人体に欠陥のあるステントがインプラントされないようにするため、100%検査する必要があります。しかしながら、この目視検査は現在マニュアル作業で実施されており、すべてのステントを細部まで検査する必要がありました。本書では、新しい光学検査システムを紹介します。高開口数（NA）光学システム、回転ステージ、ラインスキャンカメラを組み合わせることで、ステント外面と内面の展開セクションが高速で取得および画像処理されます。これらの表面や端部に現れる欠陥は、高NA照明と取得アプローチの陰影効果により、極めて高いコントラストが生じます。そのため、モルフォロジー演算と感度パラメータを用いることで、欠陥が検出されます。鍛え上げられた欠陥ライブラリに基づき、スコアベクトルのセットを通じてバイナリー選別機が欠陥を種類ごとにソートし、最終判断をするために必要な全情報を品質オペレーターに提供します。弊社はこの新しいアプローチが欠陥検出を完全に客観的なものとし、ステント品質管理ステージの時間とコストを大幅に低減することを期待しています。

全抄録ならびに発表の正確な場所と最終プログラムは、SPIEウェブページでご覧いただくことができます。