寸法
mm (inches)
重量: 8 Kg (18 lbs)
テクノロジー
光源
530 nm
460 nm
対物レンズ
| MAG | 0.243X |
| NA | 0.015 |
| WD (mm) | 80 |
| FOV1 (mm) | 34.7 x 29.1 |
| 空間サンプリング2 (µm) | 14.2 |
| 光学解像度3 (µm) | 9.35 |
1 3/2インチカメラによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDの値。
不確かさおよび再現性
| 標準片 | U, σ |
| 段差高さ | U=2.5 µm, σ= 0.05 µm |
| 面粗さ (Sa) | U=1 µm, σ=0.01 µm |
| 線粗さ (Ra) | U=1 µm, σ= 0.05 µm |
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