寸法
mm (inches)
重量: 8.3 Kg (18.4 lbs)
光源
630 nm
530 nm
460 nm
575 nm
対物レンズ性能
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.95 |
| WD (mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.2 |
| FOV1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| 空間サンプリング2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| 光学分解能3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.148 |
| システムノイズ4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 5 | 3 | 1 |
| 最大傾斜5 (º) | 9 | 17 | 27 | 44 | 64 | 72 |
1 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野. 2 表面のピクセルサイズ. 3 L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、 空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。 4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。5 滑らかな表面面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º。
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| FOV1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| 空間サンプリング2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| 光学分解能3 (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
| システムノイズ4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| 最大傾斜5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野. 2 表面のピクセルサイズ. 3 L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、 空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。 4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED)。解像度 HD。VC-Eの環境振動で測定。 5 滑らかな表面面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º。
Z 性能
| Z | COARSE (Linear stage) | FINE (Piezoelectric scanner with capacitive sensor) |
| Vertical range | 40 mm | 200 µm |
| Resolution | 5 nm | 1.25 nm |
精度＆再現性
| Standard | Value | U, σ | Technique |
| Step height | 48600 nm | U=300 nm, σ= 10 nm | Confocal & CSI |
| 7616 nm | U=79 nm, σ= 5 nm | Confocal & CSI | |
| 941.6 nm |
U=7 nm, σ= 1 nm | Confocal & CSI | |
| 186 nm | U=4 nm, σ= 0.4 nm | Confocal & CSI | |
| 44.3 nm | U=0.5 nm, σ= 0.1 nm | PSI | |
| 10.8 nm | U=0.5 nm, σ= 0.05 nm | PSI | |
| Areal roughness (Sa)7 | 0.79 µm | U=0.04 µm, σ=0.0005 µm | Confocal, AiFV & CSI |
| Profile roughness (Ra)8 | 2.40 µm | U=0.03 µm, σ= 0.002 µm | Confocal, AiFV & CSI |
| 0.88 µm | U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm | Confocal, AiFV & CSI | |
| 0.23 µm | U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm | Confocal, AiFV & CSI |
共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に
拠る：ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。σは25回測定による。
7 面積 1×1 mm。 8 プロファイル 4 mm長。
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