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テクノロジー

icon_Confocal_rgb_80x80

共焦点法

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干渉法

PSI | ePSI | CSI

icon_FocusVariation_rgb_80x80

Ai焦点移動法

光源

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

575nm

寸法

ベース & コラム

コントローラー

対物レンズ性能

明視野
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
FOV1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
Spatial sampling2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
Optical resolution3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16

共焦点法 / Ai焦点移動法

System noise4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
System noise4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64 64

Other objectives available: Water Immersion | Super Long Working Distance | Extra Long Working Distance | Collar Ring Depth Focusing Correction

1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。   2 表面でのピクセルサイズ。   3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測   5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。

干渉
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
Spatial sampling2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
Optical resolution3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20

PSI / ePSI / CSI

System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44

Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik

1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。   2 表面でのピクセルサイズ。   3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。干渉用対物レンズ、PSIの場合、防振機能を有効にした状態で10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED)。解像度 HD。
5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。

精度＆再現性

Standard Value U, σ Technique
Step height 48600 nm U=300 nm, σ= 10 nm Confocal & CSI
7616 nm U=79 nm, σ= 5 nm Confocal & CSI
941.6 nm
 U=7 nm, σ= 1 nm Confocal & CSI
186 nm U=4 nm, σ= 0.4 nm Confocal & CSI
44.3 nm U=0.5 nm, σ= 0.1 nm PSI
10.8 nm U=0.5 nm, σ= 0.05 nm PSI
Areal roughness (Sa)7 0.79 µm U=0.04 µm, σ=0.0005 µm Confocal, AiFV & CSI
Profile roughness (Ra)8 2.40 µm U=0.03 µm, σ= 0.002 µm Confocal, AiFV & CSI
0.88 µm U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm Confocal, AiFV & CSI
0.23 µm U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm Confocal, AiFV & CSI

共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に拠る：ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。
σは25回測定による。
7 面積 1×1 mm。   8 プロファイル 4 mm長。

回転ステージ

Max. measurable diameter 200 mm
Max. clamping diameter10 20 mm
Max. workpiece weight 3 Kg
Accuracy (A) 5 Arc sec/º
Bidirectional repeatability (A) 10 Arc sec
Resolution (B) 0.5 Arc sec
Straightness error11 3.6 µm / 40 mm
Parallelism error11 53.9 µm / 40 mm
Flatness error12 20 µm

値は全て、温度20±1℃の防振環境下でISO1101に準拠する 。
10 ER32 コレットホルダ。 11 St平坦度偏差はISO25178-2に準拠し、SiC参照用平面ミラーと20倍対物レンズを共焦点モードで計測した値。　12 値は全て、20倍対物レンズを用いて、共焦点モード、評価距離 40mm で計測。

XYZ 性能

XY
XY Motorized
M
Travel range (mm) 154 x 154
Z
Z COARSE (Linear stage) FINE (Piezoelectric scanner with capacitive sensor)
Vertical range 40 mm 200 µm
Resolution 5 nm 1.25 nm

コンピュータ & オペレーティングシステム

photoProduct_Sneox090ComputerDimensions
PC 8th generation Intel® Core™ i7 Processor
画面 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
オペレーティングシステム Microsoft Windows 10, 64ビット版の
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