回転ステージ
360°連続回転
高精度電動回転A軸(360°連続回転、位置決め再現性 10 arc sec)と、電動回転B軸(-30°〜110°、分解能 0.5 arc sec、リミットスイッチ付き)で構成され、System3R製クランプシステムが装備されています。
ホルダ
ホルダ& コレットセット
サンプルに応じて異なるタイプのホルダが利用可能です。回転サンプルには15個のコレットを含むコレットホルダ(ご希望により複数のオプションを提供可能)を、その他のサンプルにはフラットホルダを使用します。フラットミラーと校正標準から成る校正パックも含まれています。
イルミネーション
リング照明
LEDを同心円状に配置し、測定サンプルに均一で効率的に照明を当てます。対物レンズの上方でレンズを取り囲むようにマウントされています。共焦点法とAi焦点移動法の両方で、シグナルを増強できます。焦点面での適切な照明を確保できます。
切削工具付属品
インサートホルダー
インサートホルダーは、切削工具を測定に必要な適切な位置に保持するためのオプションアクセサリーです。 市場のあらゆるインサートモデルに対応します