3D Optical Profiler

アクティブ照明焦点移動法は,広範囲の粗い面の形状を測定するために開発された光技術です。この技術は共焦点法と光干渉法を融合させた3D測定において蓄積されたSensofarの高い専門知識に基づいたもので、特に低倍率での共焦点測定を補完するように設計されています。アクティブ照明の採用により、光学的に滑らかな面上でもより信頼性の高い焦点位置が検出できるようになっています。

光学系に開口を利用した顕微鏡撮像方式です。開口を使うことにより、焦点の合っていない焦点外れの光を検出しないように設計されており、試料表面の焦点の合っている点のみが測定されます。ビームまたは開口を、機械的またはデジタル的に走査して得られた2D像を、高さ方向に積層することにより、3Dプロファイルを計測しています。

光干渉法は、光源から出た光はビームスプリッタにより2つの光路に分けられ、一方はリファレンスミラーで反射され、他方は、試料表面で反射される。これら2つのビームは再び同一光路に戻り、重なり合うことで、空間干渉パターン（干渉縞）を得られます。干渉縞は2つのビームの光路差の情報を含んでおり、干渉縞を解析することにより、3次元的な表面形状を高分解能に計測することができます。