Engineered for speed, スピードを追求した新型S neox 3D光学式形状測定装置

Sensofar Metrologyはその主力製品である光学式形状測定装置の第5世代製品を発売します。S neoxは、サブナノ、ナノ、マイクロスケールの測定を目的として設計された先端的検査・分析に対応する顕微鏡型の高性能非接触3D光学式形状測定顕微鏡システムです。

新型S neoxはデザイン、機能性、効率性、性能において、既存の光学式3D形状測定顕微鏡を大きく凌ぎます。中でも最大の特徴はそのスピードで、 新しい独自のスマートなアルゴリズムによってすべてが高速化しています。データの取得速度は180 fps、 基準値の取得の速さは以前の5倍のS neoxは、市場で最速の表面測定システムです。

さらに設計改良されたS neoxは、研究開発や品質管理試験室に求められる柔軟性、安定性、耐久性を実現しています。当社の最適化されたソリューションは、その柔軟性と使いやすいインターフェースにより品質管理環境で活用でき、24時間連続稼働の設定が可能です。S neoxのセンサーヘッドに採用されたSensofarの3-in-1テクノロジーのアプローチ、共焦点法・干渉法・アクティブ照明焦点移動法（新）が、システムの汎用性に大きく貢献するとともに、データ取得における不適切な妥協を最小限にとどめます。S neoxはあらゆる試験室環境に限界なく対応する理想的なシステムです。重要な特長には次のようなものがあります。

新しいアクティブ照明焦点移動法は、大きな粗い表面を測定するために開発された光学技術です。これは、アクティブ照明を用いることによってさらに改良され、なめらかな光学表面でもより信頼性の高い焦点を取得することが可能となっています。

新しい薄膜測定法では、ユーザーはサンプルを準備しなくても光学的に透明な層の膜厚を迅速かつ正確に傷つけることなく測定でき、 膜厚50 nm～5 μmの透明膜を1秒以内に測定することが可能です。

通常の観察ではコントラストのない微小な高低差を強調する微分干渉（DIC）機能が追加されています。

ハイダイナミックレンジ（HDR）機能が、高反射表面 (局所的傾斜、異なる材質) での反射や脱落を軽減します。

S neoxは4つの長寿命LED光源と6眼電動ノーズピースを備えています。このセンサーヘッドには可動部品がないため、長期的な安定、正確な測定再現性、および非常に長い寿命を実現しています。前モデルのS neoxと同様、5軸高精度電動回転モジュールを備えた回転台をシステムに取り付けることが可能です。

S neoxは、明確で直感的な使いやすいインターフェースでシステムを駆動するSensoSCAN 7を搭載、広範な分析を可能とする新ソフトウェアSensoVIEWが実装されています。最もよく使用される表面性状パラメータはISO 25178とISO 4278にしたがって計算されます。

自動分析モジュールには、あらゆる品質管理手順をより簡単にするSensoPROが採用されています。さらにパワフルで柔軟なデータ分析を実現する、Mountains®のテクノロジーに基づいた最先端表面分析ソフトウェアSensoMAPも利用できます。

詳しくは、www.sensofar.com/ja/sneox をご覧ください。

新型S neoxシステムは、次の展示会でデモンストレーションが予定されています。

Photonics West、アメリカ、サンフランシスコ（2月5～7日、Hall ABCD South、ブース3404）

Laser World of Photonics 、中国、上海（3月20～22日、Hall W4、ブース4201)

Control、ドイツ、シュトゥットガルト（5月7～10日、Hall 6、ブース6106）

Eastec、アメリカマサチューセッツ州、スプリングフィールド（5月14～16日）

詳細については、当社をダウンロードしてください パンフレット.