Flexible Rahmenkonfiguration
Das S neox ist ein komplettes Werkzeug. Es wurde eigens zur schnellen, nicht-invasiven Beurteilung der Mikro- und Nanogeometrie technischer Oberflächen in mehreren Konfigurationen entwickelt. Das S neox erfüllt in Sachen Flexibilität, Haltbarkeit und Effizienz die im F&E-Bereich und in Qualitätskontrolllaboren geforderten Standards. Darüber hinaus eignet es sich zur Entwicklung anspruchsvoller, maßgeschneiderter Lösungen für Online-Prozesskontrollen, wobei Messungen von Proben von bis zu 300×300 mm² und einer maximalen Höhe bis zu 350 mm möglich sind.
Sensofar‘s 0.65X Michelson Objektiv
Das S neox ist weiterhin ein Vorreiter in Sachen Vielseitigkeit. Diesmal durch die Kombination unseres proprietären 0,65-fachen Michelson-Objektivs und eines Präzisions-XY-Tisches, um einen einzigen Zweck zu erfüllen: die schnelle und genaue Messung der Ebenheit.
Ebenheitsmessung mit hoher lateraler und vertikaler Auflösung
Motorisierter Tip-Tilt-Tisch
Die motorisierte Tip-Tilt wurde entwickelt, um die Probe automatisch in weniger als 3s zu nivellieren. Dieses Gerät verkürzt die Probenvorbereitungszeit und ermöglicht das Ausrichten von Proben an mehreren Positionen für automatisierte Anwendungen. Die automatische Neigefunktion kann mit allen bildgebenden Verfahren verwendet werden.
Motorisierter Objektivrevolver
Der motorisierte Objektivrevolver kann bis zu sechs Objektive gleichzeitig aufnehmen, einschließlich Hellfeld- und Interferometrieobjektive. Die SensoSCAN Software steuert den motorisierten Objektivwechsel und führt automatisch Parfokalitätsanpassungen aus.
Motorisierter Objektivrevolver
Der motorisierte Objektivrevolver kann bis zu sechs Objektive gleichzeitig aufnehmen, einschließlich Hellfeld- und Interferometrieobjektive. Die SensoSCAN Software steuert den motorisierten Objektivwechsel und führt automatisch Parfokalitätsanpassungen aus.
Ringlicht
Ringlicht
Das LED-Ringlicht dient zur gleichmäßigen und effizienten Beleuchtung der Proben. Über und rund um das Objektiv angeordnet sorgt es bei der Ai-Fokusvariation für ein verstärktes Signal. Damit ist die erforderliche Lichtintensität in der Fokalebene gewährleistet.
Rotationstisch
Der Five Axis Rotationstisch besteht aus einer hoch präzisen, motorbetriebenen A-Achse mit 360º-Endlosrotation und einer Wiederholgenauigkeit von 10 Bogensekunden sowie einer motorisierten B-Achse mit einer Reichweite von -30º bis 110º, einer Auflösung von 0,5 Bogensekunden und Endschalter. Der Rotationstisch ist mit einer System3R Einspannvorrichtung versehen.
Rotationstisch
Der Five Axis Rotationstisch besteht aus einer hoch präzisen, motorbetriebenen A-Achse mit 360º-Endlosrotation und einer Wiederholgenauigkeit von 10 Bogensekunden sowie einer motorisierten B-Achse mit einer Reichweite von -30º bis 110º, einer Auflösung von 0,5 Bogensekunden und Endschalter. Der Rotationstisch ist mit einer System3R Einspannvorrichtung versehen.
Einsatzhalter
Der Einsatzhalter ist ein optionales Zubehörteil, mit dem Schneidwerkzeuge genau an der für die Messung erforderlichen Stelle positioniert werden können. Er ist mit allen zurzeit auf dem Markt erhältlichen Einsatzmodellen kompatibel.
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