Das S neox Grand Format bietet eine Komplettlösung, von der Hardware bis zur Software, für 3D-Oberflächenmessungen von großen Platten in der Halbleiter-, Display- und PCB-Industrie.
AUFHEBUNG VON GEWICHTSBESCHRÄNKUNGEN
Unbegrenzte Messmöglichkeiten
Riesiger Verfahrbereich von 600 x 600 mm mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von einem Meter pro Sekunde. Geschlossenes XY-Gantry-Design für gleichbleibende Leistung unabhängig vom Probengewicht.
Riesiger Verfahrbereich von 600 x 600 mm mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von einem Meter pro Sekunde. Geschlossenes XY-Gantry-Design für gleichbleibende Leistung unabhängig vom Probengewicht.
VERBESSERTE SICHERHEIT
Zertifiziert für den Einsatz in der Halbleiterindustrie
Dieses System wurde sorgfältig entwickelt, um verschiedene Industriestandards wie SEMI S2 und S8 zu erfüllen, und wurde außerdem vom TÜV Rheinland zertifiziert.
3-in-1 TECHNOLOGIEN
Höchste Messvielfalt
Der Messsensor das S neox Cleanroom, bietet drei verschiedene optische Technologien, um die Messung mit der für die jeweilige Probe am besten geeigneten Technologie durchzuführen und eine Präzision bis in den Subnanometerbereich zu erreichen.
3-in-1 TECHNOLOGIEN
Höchste Messvielfalt
Der Messsensor das S neox Cleanroom, bietet drei verschiedene optische Technologien, um die Messung mit der für die jeweilige Probe am besten geeigneten Technologie durchzuführen und eine Präzision bis in den Subnanometerbereich zu erreichen.
STRENGSTE KLASSIFIZIERUNG ISO Klasse 1
Reinraumfreundlich
Der Messsensor ist Klasse 1 kompatibel. Das Gehäuse ist aus rostfreiem Stahl und minimiert die Partikelemissionen.