ANWENDUNGEN
Unsere Systeme werden hauptsächlich bei der Herstellung von FPDs (Flat Panel Displays) eingesetzt, um verschiedene Merkmale – Arrays, Beschichtungen oder Abstandshalter – zu messen. Je nachdem in welcher Phase der Herstellung die Charakterisierung durchgeführt wird.
TFT-Array im LCD
Es gibt eine Methode zur Herstellung von LCDs (Liquid Crystal Displays), die den Kontrast und die Geschwindigkeit des Displays verbessert. Es wird TFT-Technologie (Thin Film Transistor) genannt. TFTs werden mittels Photolithographie hergestellt und es ist wichtig, die Höhe jeder der Schichten zu kennen.
Das Multiple Step Height Plugin erkennt 3 verschiedene Höhen und markiert die Bereiche der Topographie, welche derselben Höhenebene zusammengehören. In diesem Fall ist jede der erkannten Ebenen eine Schicht, die aufgebracht wurde, um das TFT-Array zu erstellen.
Faltbares
Smartphone
Die neuesten Smartphones und Tablets haben flexible Bildschirme integriert, die gefaltet werden können. Unser S wide wird von Bildschirmherstellern verwendet, um die Tiefe und Breite der faltbaren Fläche zu charakterisieren. In diesem Beispiel haben wir 4×4-Stitching verwendet.
Für die Messung der kritischen Dimensionen wird diese leistungsstarke Software verwendet.
Trends in einem Datensatz können leicht mit den automatisch generierten Diagrammen erkannt werden, während der Analyse mit dem Rectangular Hole-Plugin.
Abstandhalter vom
TFT-Dünnschichttransistor
Displays bestehen aus mehreren Ebenen, welche einen gewissen Abstand zueinander haben müssen. Abstandshalter sind Strukturen, die über den gesamten Bildschirm verteilt sind, um diesen Abstand zu gewährleisten. Abstandshalter können jede beliebige Form haben; Die meisten sind oval, rund oder rechteckig.
FPD-Beschichtungsneigung
Bei der Herstellung eines Displays werden bei der Photolithographie mehrere Beschichtungen aufgetragen. Oft muss man die Gleichmäßigkeit der Beschichtung durch die Strukturen verstehen.
Mit dieser hervorragenden Analysesoftware ist es einfach, die passende Profillinie (für jede Richtung) einzuzeichnen und eine manuelle Überprüfung durchzuführen. Das Bild zeigt die Ebenheit der Beschichtung auf der Oberseite der zu prüfenden Struktur.