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Profiler-Technologien

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Konfokal

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Interferometrie

PSI | ePSI | CSI

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Ai-Fokus-Variation

Lichtquellen

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

575nm

Abmessungen mm
(Zoll)

S neox Grand Format dimendions

Objektivlinsen

Hellfeld
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
FOV1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
Räumliche Abtastung2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
Optische Auflösung3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16

Konfokal / Ai Fokus Variation

Systemrauschen4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximale Neigung5 (º) 9 17 27 53 64 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
Systemrauschen4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximale Neigung5 (º) 9 17 27 53 64 64

1 Maximales Sichtfeld mit 3/2″-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.  3 L&S: Line & Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Messungen auf einem senkrecht zur optischen Achse angeordneten Kalibrierspiegel.  5 Auf glatten Oberflächen, bis zu 71º. Auf streuenden Oberflächen, bis zu 86º.

Interferometrie
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
Optische Auflösung3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20

PSI / ePSI / CSI

System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm mit PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm mit PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0,01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung.   5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.

Gantry XY-Tisch

XY
Positionierungssystem Zweiachsige Gantry: XY-Verschiebung des Kopfes
Verfahrbereich (mm) 600 x 600
Verfahrgeschwindigkeit Max. 1m/s
Steuerungstyp Linearer Regelkreis

Zertifizierung

Dieses System wurde sorgfältig entwickelt, um verschiedene Industriestandards wie SEMI S2 und S8 zu erfüllen, und wurde außerdem vom TÜV Rheinland zertifiziert.

Compliance list GF

Der S neox Cleanroom Reinraum-Sensorkopf wurde sorgfältig entwickelt, um mit der ISO-Klasse 1 und ESD-kompatibel zu sein.

S neox Cleanroom ISO IPA
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