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Das S neox Grand Format bietet eine Komplettlösung, von der Hardware bis zur Software, für 3D-Oberflächenmessungen von großen Platten in der Halbleiter-, Display- und PCB-Industrie.

S neox Grand Format
S neox Grand Format

AUFHEBUNG VON GEWICHTSBESCHRÄNKUNGEN

Unbegrenzte Messmöglichkeiten

Riesiger Verfahrbereich von 600 x 600 mm mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von einem Meter pro Sekunde. Geschlossenes XY-Gantry-Design für gleichbleibende Leistung unabhängig vom Probengewicht.

Riesiger Verfahrbereich von 600 x 600 mm mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von einem Meter pro Sekunde. Geschlossenes XY-Gantry-Design für gleichbleibende Leistung unabhängig vom Probengewicht.

600x600mm

VERBESSERTE SICHERHEIT

Zertifiziert für den Einsatz in der Halbleiterindustrie

Dieses System wurde sorgfältig entwickelt, um verschiedene Industriestandards wie SEMI S2 und S8 zu erfüllen, und wurde außerdem vom TÜV Rheinland zertifiziert.

Compliance list GF
S neox Grand Format
Interferometrie__S neox Grand Format
Konfokal__S neox Grand Format

3-in-1 TECHNOLOGIEN

Höchste Messvielfalt

Der Messsensor das S neox Cleanroom, bietet drei verschiedene optische Technologien, um die Messung mit der für die jeweilige Probe am besten geeigneten Technologie durchzuführen und eine Präzision bis in den Subnanometerbereich zu erreichen.

Ai-Fokus-Variation__S neox Grand Format
Interferometrie__S neox Grand Format
Konfokal__S neox Grand Format
Ai-Fokus-Variation__S neox Grand Format

3-in-1 TECHNOLOGIEN

Höchste Messvielfalt

Der Messsensor das S neox Cleanroom, bietet drei verschiedene optische Technologien, um die Messung mit der für die jeweilige Probe am besten geeigneten Technologie durchzuführen und eine Präzision bis in den Subnanometerbereich zu erreichen.

S neox Cleanroom Class 1 compatible

STRENGSTE KLASSIFIZIERUNG ISO Klasse 1

Reinraumfreundlich

Der Messsensor ist Klasse 1 kompatibel. Das Gehäuse ist aus rostfreiem Stahl und minimiert die Partikelemissionen.

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