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表面纹理测量可以使用两种主要方法进行:接触方法,包括基于物理触针的仪器,和非接触技术,后者使用先进的三维光学技术,如干涉测量共聚焦多焦面叠加

接触式轮廓仪

传统方法

接触分析器,如触控笔分析器,几十年来一直是行业标准。然而,它们也有一些缺点,包括样品损伤,尖端磨损,以及由于方向和位置依赖性而引起的测量变化。

接触分析器,如触控笔分析器,几十年来一直是行业标准。然而,它们也有一些缺点,包括样品损伤,尖端磨损,以及由于方向和位置依赖性而引起的测量变化。

Contact profilometers
The rise of non-contact profilometers

3D非接触式轮廓仪

非接触型轮廓仪的发展

现代光学轮廓仪正在越来越多地取代接触轮廓仪,因为它们消除了接触方法所固有的许多缺点。这些先进的系统提供了优越的分辨率、更快的测量速度、更低的方差和无缝自动化,使它们成为研究和工业中表面纹理测量的更有效的解决方案。此外,诸如ISO 21920和ISO 25178等国际标准认为,非接触技术对于可靠的轮廓和区域表面纹理分析至关重要。

现代光学轮廓仪正在越来越多地取代接触轮廓仪,因为它们消除了接触方法所固有的许多缺点。这些先进的系统提供了优越的分辨率、更快的测量速度、更低的方差和无缝自动化,使它们成为研究和工业中表面纹理测量的更有效的解决方案。此外,诸如ISO 21920和ISO 25178等国际标准认为,非接触技术对于可靠的轮廓和区域表面纹理分析至关重要。

The rise of non-contact profilometers

仪器精度

我如何知道我的仪器是否提供了准确的结果?

精确的表面纹理测量依赖于足够的横向和垂直分辨率来捕捉精细的表面特征。技术、物镜和其他硬件规格的选择可能会影响测量精度。正确的校准也同样重要——如果没有可追溯的校准,结果可能缺乏可靠性和准确性。

Instrument Accuracy
Technology Selection

三维技术选择

测量表面纹理的最佳技术是什么?

最好的技术取决于应用:干涉测量法是理想的光滑的反射表面;共聚焦非常适合抛光或复杂的纹理;多焦面叠加常适合具有陡峭几何形状的粗糙表面。

Surface texture measurement Focus Variation
Surface texture measurement Confocal
Surface texture measurement Interferometry
Objective Selection

物镜选择

我应该使用哪些物镜来进行测量?

物镜直接影响测量精度。高放大倍率捕捉了细节,但限制了视野,而低放大率为粗糙的纹理提供了更广泛的覆盖范围。平衡分辨率和样本特性是准确分析的关键。

物镜直接影响测量精度。高放大倍率捕捉了细节,但限制了视野,而低放大率为粗糙的纹理提供了更广泛的覆盖范围。平衡分辨率和样本特性是准确分析的关键。