测量原理
![3D optical metrology techniques 3D optical metrology techniques](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/technologies-icons-1.png)
增强型光学测量技术
虽然一开始作为高性能 3D 光学轮廓仪设计,但是我们的某些系统胜过所有现有的光学轮廓仪,集所有技术于一身。
![fringe_projection_tech fringe_projection_tech](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/02/fringe_projection_tech.png)
条纹投影非常适合大面积测量,垂直精度和可重复性高,系统噪声低。
![Fringe Projection measurement of a Tablet Fringe Projection measurement of a Tablet, high vertical accuracy](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_fp.png)
![fringe_projection_tech fringe_projection_tech](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/02/fringe_projection_tech.png)
条纹投影非常适合大面积测量,垂直
精度和可重复性高,
系统噪声低。
![icon_FocusVariation_rgb_80x80 icon_FocusVariation_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_focusvariation_rgb_80x80.jpg)
Ai 多焦面叠加经过开发和完善,可测量粗糙大表面的形状。高斜率表面的最佳选择。
![tab_fv Active Illumination Focus Variation example](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_fv-1-300x233.jpg)
![icon_FocusVariation_rgb_80x80 icon_FocusVariation_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_focusvariation_rgb_80x80.jpg)
Ai 多焦面叠加经过开发
和完善,可测量粗糙大表面的
形状。高斜率表面的
最佳选择。
![tab_fv Active Illumination Focus Variation example](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_fv-1-300x233.jpg)
![icon_Confocal_rgb_80x80 icon_Confocal_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_confocal_rgb_80x80.jpg)
共聚焦轮廓仪测量表面高度,从光滑表面到非常粗糙的表面均能胜任,使它们成为关键尺寸测量的理想之选。
![tab_c Confocal texture](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_c-1.png)
![icon_Confocal_rgb_80x80 icon_Confocal_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_confocal_rgb_80x80.jpg)
共聚焦轮廓仪测量表面
高度,从光滑表面到非常粗糙的
表面均能胜任,使它们成为关键
尺寸测量的理想之选。
![icon_Interferometry_rgb_80x80 icon_Interferometry_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_interferometry_rgb_80x80.jpg)
干涉技术可用于特定应用,从光滑的连续表面到中等粗糙的表面均可测量。
![tab_int Interferometry exmple](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_int-300x239.png)
![icon_Interferometry_rgb_80x80 icon_Interferometry_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2019/01/icon_interferometry_rgb_80x80.jpg)
干涉技术可用于
特定应用,
从光滑的连续
表面到中等
粗糙的表面均可测量。
![tab_int Interferometry exmple](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_int-300x239.png)
![icon_SpecReflect_rgb_80x80 icon_SpecReflect_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2016/06/icon_SpecReflect_rgb_80x80.jpg)
对于透明层样本,光谱反射是以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的关键。
![tab_sr SR](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/tab_sr-1.png)
![icon_SpecReflect_rgb_80x80 icon_SpecReflect_rgb_80x80](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2016/06/icon_SpecReflect_rgb_80x80.jpg)
对于透明层样本,
光谱反射是
以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的
关键。
产品阵容
技术组合
我们的系统采用不同光学测量技术进行工作,一部分系统采用组合技术。聚集这些技术的优点,外加最新技术和操作软件,成就市场上最具竞争力的高级测量设备。
![s-wide2_2022 S wide technologies](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2022/02/s-wide2_2022.jpg)
![s-neox2_2022 S neox technologies](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2022/02/s-neox2_2022.jpg)
![s-lynx-and-s-mart_2 S lynx & S mart2](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2023/03/s-lynx-and-s-mart_2.jpg)
![s-onix2 s-onix2](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/s-onix2.png)
![s-wide2_2022 S wide technologies](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2022/02/s-wide2_2022.jpg)
![s-neox2_2022 S neox technologies](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2022/02/s-neox2_2022.jpg)
![s-lynx-and-s-mart_2 S lynx & S mart2](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2023/03/s-lynx-and-s-mart_2.jpg)
![s-onix2 s-onix2](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/2020/07/s-onix2.png)
为何使用四合一技术?
![4-in-1 optical metrology techniques graph 4-in-1 optical metrology techniques graph](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/bfi_thumb/4in1-tech-graph-qpscch2wyz8xgbkz7fy8bnq01l9p1aepg6fyc6i2uu.png)
采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到适合当前任务的技术。S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此,每种技术都是实现系统通用性的重要因素,有利于减少数据采集时不希望发生的缺陷,同时提供 Sensofar 的一流表面测量性能。
专利技术
微显示是关键!
Sensofar 的系统采用专利微显示扫描技术。微显示以硅基铁电体液晶 (FLCoS) 技术为基础,打造没有运动零件的快速切换装置,使共聚焦图像扫描快速、可靠、精确。微显示器结合高分辨率扫描台和可更换物镜,构成了一套灵活的光学系统。
![3D optical metrology techniques Microdisplay Image 3D optical metrology techniques Microdisplay Image](https://www.sensofar.com/wp-content/uploads/bfi_thumb/microdisplay-image-qpsccpjfswuzd82imrchaxnjiqr8i7a1grtpqqawhq.jpg)
市场上大部分测量设备采用的最普遍的光学测量技术(共聚焦、干涉、多焦面叠加和光谱反射),可让用户获得他们在表面计量工作中需要的测量值。