可集成光学测量系统
可集成光学测量系统解决方案
Sensofar可集成光学测量系统是我们20多年以来专注于表面测量系统的研发结晶，让高精度和超高速测量得以完美结合。
坚固、耐用且可靠
大部分的生产环境并不十分友好——多变的工况、振动、腐蚀性材料等都使测量任务变得更加困难。Sensofar测量系统良好的密封设计可防止碎屑和颗粒进入以保持清洁，无运动部件的光学设计也使测量系统能够长期稳定工作。
紧凑、轻便、 全方位安装
Sensofar可集成系统体积小，重量轻， 便于集成设计，可以根据应用要求进行定位。电缆长度可达20米。这使得它们可以完全适用于在线生产和机器人应用。
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解决方案
Sensofar可集成光学测量系统的设计理念源于为质量管控和产品质量分析提供可靠的高性能产品。对于尺寸以及表面状态迥异的产品，我们提供具有针对性的解决方案。
Sensofar可集成光学测量系统的设计理念源于为质量管控和产品质量分析提供可靠的高性能产品。对于尺寸以及表面状态迥异的产品，我们提供具有针对性的解决方案。
通过紧凑型设计和多功能性的完美结合，S mart 2 是市面上独一无二的可集成的区域共聚焦传感器。
视场范围(单一视场) 5.6 x 5.6 mm
电脑 内置集成
扫描速度 2 s
光学分辨率 155 nm
纵向分辨率 3 nm
通过紧凑型设计和多功能性的完美结合，S mart 2 是市面上独一无二的可集成的区域共聚焦传感器。
视场范围(单一视场) 5.6 x 5.6 mm
电脑 内置集成
扫描速度 2 s
光学分辨率 155 nm
纵向分辨率 3 nm
S neox最大程度满足了灵活多样， 高速，高精度的测量需求，定位为通用的工业检测集成系统。
视场范围(单一视场) 6.7 x 5.6 mm
扫描速度 3 s
光学分辨率 148 nm
纵向分辨率 0.01 nm
S neox 无尘系统是市场上用途最广泛，也是唯一符合 ISO 1级标准的可集成系统。
视场范围(单一视场) 6.7 x 5.6 mm
扫描速度 3 s
光学分辨率 148 nm
纵向分辨率 0.01 nm
S wide 可用于测量毫米级范围的三维尺寸，适合于高速及大尺寸形貌的应用。
视场范围(单一视场) 34.7 x 29.1 mm
扫描速度 3 s
光学分辨率 9.35 µm
纵向分辨率 1 µm
条纹投影 
Ai 多焦面叠加 
共聚焦 
干涉 
反射光谱
客户案例
WSM1300
晶圆表面测量系统
WSM1300 晶圆表面测量系统是 QES 设计的产品，集成了 S mart 2 传感器头，为 8寸 SEMI 标准开放式晶圆盒和 12寸 SEMI 标准 FOUP 和 FOSB 提供自动测量解决方案。该系统配备了带测绘传感器的通用装载端口、Hirata ATM 机械臂、晶圆预对准器和晶圆 ID 阅读器，可无缝处理晶圆盒，为表面形貌分析提供全面而精确的解决方案。
AMS650
PCB 3D 自动测量机
AMS650 是 BRET 设计的一款产品，它将 S neox 传感器头与 650x650mm XY 平台相结合，为 PCB 检测提供了自动化解决方案。在 SensoPRO 软件的帮助下，AMS650 可自动分析所有数据并生成合格/不合格报告。这一里程碑式的技术简化了生产过程中对印刷电路板的检测，可测量焊盘、通孔、迹线尺寸和表面光洁度等关键特征。
软件配置
一个完整的系统解决方案不仅包括高性能的硬件，也需要界面友好的软件的支持。在此软件系统导图中，我们将介绍测量系统的工作流程图。测量结果分析包括两个步骤：首先，我们需要进行参数设置以获得良好的成像进而得到高质量的3维空间信息。在此基础上，我们需要对软件参数进行设置以便实现测量结果的自动化分析。
一个完整的系统解决方案不仅包括高性能的硬件，也需要界面友好的软件的支持。在此软件系统导图中，我们将介绍测量系统的工作流程图。测量结果分析包括两个步骤：首先，我们需要进行参数设置以获得良好的成像进而得到高质量的3维空间信息。在此基础上，我们需要对软件参数进行设置以便实现测量结果的自动化分析。
SensoPRO 通过自定义插件和高速数据分析算法，自动检测特定结构并输出相应数据。实现检测环节中高效的数据分析管控且完全自动化。
SensoVIEW 是一款可广泛适用于各种分析任务的理想软件。 它由一套全面的测量工具组成，可用于对 3D 或 2D 测量结果进行初步检查和分析。该软件通过使用一组分析工具，可进行粗糙度评价，体积计算，以及测量关键尺寸等，这些分析结果可以导出为报告或以数据集的形式保存（csv文件格式）。 此外，分析方案可以保存为模板，以便应用于多个测量结果。
SDK（软件开发工具包）是一组可以远程控制一个或多个传感器的工具。它生成并管理客户端计算机和多个传感器之间的通信，并可将采集的数据发送到任意指定的地方进行分析。
感言
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