尺寸
mm (英寸)
重量：8.3 Kg (18.4 lbs)
光源
630 nm
530 nm
460 nm
575 nm
物镜性能
明场
| 放大倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 数值孔径 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| 工作距离 (mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 1.5 |
| 视场范围1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| 像素分辨率2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| 光学分辨率3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
| 系统噪声4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| 最大斜率5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。
干涉
| 放大倍率 | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 数值孔径 | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| 工作距离 (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| 视场范围1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| 像素分辨率2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| 光学分辨率3 (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
| 系统噪声4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| 最大斜率5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。
Z轴性能
| Z | 普通 (线性导轨) | 精细 (配电容传感器的压电陶瓷晶体z轴) |
| 行程 | 40 mm | 200 µm |
| 精度 | 5 nm | 1.25 nm |
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