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尺寸

mm (英寸)
重量: 8.3 Kg  (18.4 lbs)

S neox Cleanroom sensor dimensions

技术

icon_Confocal_rgb_80x80

共聚焦

icon_Interferometry_rgb_80x80

干涉
PSI | ePSI | CSI

icon_FocusVariation_rgb_80x80

Ai 多焦面叠加

光源

icon_RedLight

630 nm

icon_GreenLight

530 nm

icon_BlueLight

460 nm

icon_WhiteLight

575 nm

物镜性能

明场
放大倍率 5X 10X 20X 50X 100X 150X
数值孔径 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
工作距离 (mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
视场范围1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
像素分辨率2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
光学分辨率3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16
系统噪声4 (nm) 100 30 8 4 3 2
最大斜率5 (º) 9 17 27 53 64 64

1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。  2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。  5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。

干涉
放大倍率 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
数值孔径 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
工作距离 (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
视场范围1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
像素分辨率2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
光学分辨率3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20
系统噪声4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
最大斜率5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。  2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。  5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。

Z轴性能

Z 普通 (线性导轨) 精细 (配电容传感器的压电陶瓷晶体z轴)
行程 40 mm 200 µm
精度 5 nm 1.25 nm
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