3D Optical Profiler

主动照明多焦面叠加是一种为了测量大粗糙表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。通过使用主动照明，即使在光学平滑的表面上也能获得更可靠的测量数据，这一点已经得到了改进。该技术的亮点包括高斜率表面(高达 86º),更快的速度(mm/s）和较大的垂直范围测量。

共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供更佳的横向分辨率，可达 0.14μm 水平分辨率，空间采样可减少到 0.01μm，这是关键尺寸测量的理想选择。高达NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面，可允许 86°。独家的共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。

光学干涉是利用参考镜和样本上产生的两束反射光在零光程差时产生干涉的现象来生成三维干涉图样（干涉图），包含样本表面形貌上的信息。该方式的各种变化可用于具体不同的应用。