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干涉技术

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共聚焦

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干涉

相移干涉，拓展相移干涉，白光干涉

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Ai 多焦面叠加

照明光源

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

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460nm

icon_WhiteLight

575nm

尺寸
毫米（英寸）

S neox Grand Format dimendions

物镜

明场
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
数值孔径 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
工作距离（毫米） 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
视场1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
空间采样2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
光学分辨率3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16

共聚焦 / Ai 多焦面叠加

系统噪声4 (nm) 100 30 8 4 3 2
最大倾斜度5 (º) 9 17 27 53 64 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
System noise4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64 64

1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。   2 表面像素大小。   3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。   4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。   5 在光滑表面上，可达 71º。在散射表面上，可达 86º。

干涉
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
数值孔径 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
工作距离（毫米） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
视场1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
空间采样2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
光学分辨率3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20

PSI / ePSI / CSI

系统噪声4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
最大倾斜度5 (º) 4 7 17 24 33 44
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。   2 表面像素大小。   3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。   4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。   5 在光滑表面上，可达 71º。在散射表面上，可达 86º。

龙门式 XY 平台

XY
定位系统 双轴龙门架：头部 XY 轴平移
移动范围（毫米） 600 x 600
运行速度 最大 1 米/秒
控制类型 线性闭环

标准认证

该系统经过精心设计，符合 SEMI S2 和 S8 等多项行业标准，并通过了德国莱茵 TÜV 认证。

Compliance list GF

S neox 无尘室传感器头经过精心设计，符合 ISO 1 级和 ESD 标准。

S neox Cleanroom ISO IPA
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