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S neox Grand Format 为半导体等行业大尺寸产品的表面三维测量提供了从硬件到软件的完整解决方案。

S neox Grand Format
S neox Grand Format

无惧重量限制

无限的测量能力

600 x 600 毫米的宽广移动范围，每秒1米的惊人速度。闭环 XY 龙门架设计，无惧重量限制，性能始终如一。

600 x 600 毫米的宽广移动范围，每秒1米的惊人速度。闭环 XY 龙门架设计，无惧重量限制，性能始终如一。

600x600mm

安心使用

经认证可用于半导体表征

该系统经过精心设计，符合 SEMI S2 和 S8 等多项行业标准，并通过了德国莱茵 TÜV 认证。

Compliance list GF
S neox Grand Format
Interferometry Technology
Confocal_S neox Grand Format

三合一技术

超高的测量通用性

无尘测量头 S neox Cleanroom 提供三种不同的光学技术，可针对每个特定样品使用适合的技术进行成像，实现亚纳米级精度。

AiFocusVariation__S neox Grand Format
Interferometry Technology
Confocal_S neox Grand Format
AiFocusVariation__S neox Grand Format

三合一技术

超高的测量通用性

无尘测量头 S neox Cleanroom 提供三种不同的光学技术，可针对每个特定样品使用适合的技术进行成像，实现亚纳米级精度。

S neox Cleanroom Class 1 compatible

严格符合ISO 1 级别

适用于无尘间

测量传感器符合 ISO 1 级标准。机身由不锈钢制成，可减少微粒排放。

了解有关 S neox 洁净室的更多信息
S neox Grand Format Summary
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